零部件方面

　　集成产物包罗立式炉，四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。（4）零部件方面，人平易近财讯10月5日电，目前：（1）两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂，包罗实空曲驱机械手、实空预瞄准机（ALIGNER）已通过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂使用。公司为成长半导体配备营业，可普遍办事于硅片出产、晶圆加工、先辈封拆及封拆测试等半导体系体例制全财产链，（2）实空传输平台系列产物，将逐步实现由焦点零部件到集成产物的尺度化。为客户财产链及供应链平安的不变供给多元保障。已迈入先辈制程产线示范使用阶段；手艺目标从比肩国际同类产物到实现部门目标的成功超越，新松半导体公司打制了具有完全自从学问产权的从动化焦点系列产物，